イオン銃
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【用途】
・エッチング ・プラズマ照射 -
電磁石型 コールドカソードイオン銃 / OMI-0015CKE
【用途】
タイプＡ ： 収束ビーム IBF エッチング セパレータの上流用 タイプＢ ： ブロードビーム IBF エッチング 照射試験 -
【用途】
・電子ビーム、イオンビームカレントの微小電流計測 -
【用途】
表面科学や核融合、燃料電池、水素、カーボン関係の研究開発など、多種多様な実験に最適です。 -
【用途】
・表面科学 ・核融合炉壁材料開発 ・燃料電池開発 ・触媒開発 -
【用途】
・イオンビームスパッタ ・高速クリーニング -
【用途】
・１０ｋVまでのイオンビームの質量選別 -
ExBセパレーター型 イオンビーム照射システム/ OMS-5010ESi
【用途】
表面科学や核融合、燃料電池、水素、カーボン関係の研究開発 -
【用途】
・イオン銃のガス導入部 ・バリアブルリークバルブの自動制御
