10kV 減速型イオン照射システムOMS-2610シリーズ
用途
・イオンビーム照射試験
・イオン誘起二次電子放出試験
概要
10kVの減速型コールドカソードイオン銃を真空排気系にマウントしました。高いエネルギーはもちろん、効率よく減速された低速イオンも高い電流密度で照射可能な標準的な仕様では、各種イオン照射試験に幅広く対応します。
オプションを選択することで、イオン誘起二次電子放出試験にも対応します。お客様の用途に合わせた仕様を特注でおつくりします。
仕様
・ビームエネルギー ：5eV～10ｋeV
・ビーム電流 ：0.024μA～29.6μA
・イオン種 ：He
オプション
〇二次電子検出器、電流増幅アンプ
〇LabVIEW計測ソフトウェア、PC
〇試料ステージ（200℃加熱機構付き）
標準コントローラ
○加速電源 0.5ｋV～10ｋV
○ビーム電流コントロール
○収束レンズコントロール
○入力電源 AC100V
○サイズ １９インチラックサイズ（JIS）高さ1600ｍｍ
○ケーブル長 ５ｍ
本体サイズ
〇900mm×900mm×1500mm
