チャンバー、部品

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  部品加工

  【用途】
  ●ガスクラッキングセル ●ガスノズル

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  イオンガングリッド

  【用途】
  ●イオンガン用グリッド

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  カーボン膜厚自動計測システム/OMS-0700CF

  【用途】
  ●カーボン膜厚の自動測定

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  コールドカソードイオン銃/ OMI-0012CKMLシリーズ

  【用途】
  ●サンプルクリーニング ●照射試験 ●イオンビームスパッタ

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  ２kV低速イオン銃/ OMI-0010

  【用途】
  ●イオンビームスパッタ ●低損傷クリーニング等

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  RFイオン銃/ OMI-0850series

  【用途】
  ●IBF（イオンビームフィギュアリング） ●イオンビームスパッタ

• 

  10kVコールドカソードイオン銃/OMI-1000CKE

  【用途】
  ●イオン注入 ●加速器 ●表面科学、核融合、燃料電池、水素、カーボン関係の研究開発

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  エネルギーセパレータ付減速イオン銃（スイープ機能付） / OMB-0750CKD-SW

  【用途】
  ●ラザフォード後方散乱

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  １０ｋeVカーボンイオンガン （E×Bフィルター付）

  【用途】
  ●カーボンイオン照射(O⁺ H₂⁺イオン照射可) ●昇温脱離ガス分析

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