チャンバー、部品
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【用途】
・プラズマ応用 -
【用途】
・精密磁気計測、実験等 -
【用途】
・スパッタリング ・イオンビームアシスト -
【用途】
・高融点金属、Ti等の活性金属の溶接、溶解、熱処理、改質。 ・センサー部品等の真空封止 ○利点 ・真空中で行われる為、酸化がない。 ・高融点金属であるタングステンも対応可能 ・異種金属の溶接が可能 ・レー -
【用途】
・X線ミラー、光学レンズ微小領域形状修正 ・イオンビームフィギュアリング -
マグネットセパレーター付コールドカソードイオン銃/OMI-0050MS
【用途】
・水素、プロトン各種実験 ・宇宙環境模擬実験 -
コールドカソード減速イオン銃/OMI-0750シリーズ オプションで中性ビーム
【用途】
・イオンビームスパッタ ・表面ソフトランディング（酸素等） ・低エネルギークリーニング ・絶縁物クリーニング ・燃料電池（窒素ドープ等） ・低速イオン散乱分光（He） -
超高真空高輝度コールドカソードイオン銃/OMI-0512CKE
【用途】
・精密イオンミリング（SEM、FIBシステム組込） ・超高真空イオンミリング -
【用途】
・試料表面の帯電中和 ・二次電子発生試験 ・ガスのイオン化 ・精密帯電試験
