設備の都合上、架台を含め高さ２１００ｍｍまでの真空チャンバーを承ります。
電子ビーム・イオンビームを扱う場合で、差動排気、ガス供給系、磁場・電場の考慮、ビーム計測が必要な時はご依頼ください。