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イオン銃
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【用途】
・エッチング ・プラズマ照射 -
電磁石型 コールドカソードイオン銃 / OMI-0015CKE
【用途】
タイプA : 収束ビーム IBF エッチング セパレ -
【用途】
・イオンビームスパッタ ・高速クリーニング
電子銃
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【用途】
・試料表面の帯電中和 ・二次電子発生試験 ・ガス -
μスポット高輝度高精度電子銃 (50keV)/ OME-0750シリーズ
【用途】
●カソードルミネッセンス等 ●高輝度高出力ビーム出力 -
【用途】
・半導体製造装置組込 ・μX線発生源 ・μRHE
周辺機器
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【用途】
・電子ビーム、イオンビームカレントの微小電流計測 -
【用途】
表面科学や核融合、燃料電池、水素、カーボン関係の研究開発など -
【用途】
・10kVまでのイオンビームの質量選別
システム
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【用途】
・表面科学 ・核融合炉壁材料開発 ・燃料電池開発 -
ExBセパレーター型 イオンビーム照射システム/ OMS-5010ESi
【用途】
表面科学や核融合、燃料電池、水素、カーボン関係の研究開発 -
【用途】
・高融点金属、Ti等の活性金属の溶接、溶解、熱処理、改質。
メカトロニクス
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【用途】
・精密磁気計測、実験等 -
【用途】
●カーボン膜厚の自動測定
チャンバー、部品
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【用途】
・プラズマ応用 -
【用途】
●ガスクラッキングセル ●ガスノズル -
【用途】
●イオンガン用グリッド