イオン銃
-
高出力高輝度高精度型へリウムイオン銃(10KeV,30KeV) / OMI-3030CKH
【用途】
●サンプルクリーニング ●照射試験 ●イオンビームスパッ -
【用途】
●IBF 絶縁物加工 ●X線ミラー加工 ●イオンミーリン -
【用途】
●ビーム照射、分析用 ●昇温脱離ガス分析 ●イオンミーリ -
【用途】
●ビーム照射、分析用 ●低速イオンミーリング ●ニュート -
【用途】
●材料表面クリーニング用 -
【用途】
●ビーム照射、分析用 -
【用途】
●ビーム照射、分析用 ●昇温脱離ガス分析 ●低速イオンミ -
カーボンイオン対応型１０ｋｅＶ高精度イオンガン / OMI-0810C
【用途】
●カーボン照射、分析用 ●昇温脱離ガス分析 -
【用途】
●分析 ●1nA～1000nA(ワイド出力ダイナミックレン -
【用途】
●精密スパッター ●小スポット(ターゲット10×10mm可 -
高輝度へリウムイオン銃(コールドカソード型) / OMI-0045CKH
【用途】
●Heイオン、H+イオン照射 ●小スポット等 -
クリーニング用コールドカソード型イオン銃（3keV） / OMI-0043CKE
【用途】
●クリーニング等 -
【用途】
●ビーム照射、分析用 ●昇温脱離ガス分析 ●低速イオンミ
電子銃
-
【用途】
●イオン化用 ●蒸着アシスト用 -
【用途】
●カソードルミネッセンス ●表面分析、イオン化 ●オージ -
μスポット高輝度小型電子銃 （15keV）/ ＯＭＥ－0334シリーズ
【用途】
●カソードルミネッセンス等 ●高輝度高出力ビーム出力
周辺機器
-
【用途】
●ビーム電流値の評価・計測 ●ビーム出力の検知 -
ファラデーモニターシステム / OMS-0010FC(300st)
【用途】
●ビームカレントモニター -
【用途】
●３Dプリンタのベースに ●描画装置 ●自動検査装置 -
【用途】
●実験用 -
【用途】
●二次電子発生材料試験 ●電子照射試験
システム
-
【用途】
●電子ビーム大気照射等
