イオン銃
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【用途】
・エッチング ・プラズマ照射 -
電磁石型 コールドカソードイオン銃 / OMI-0015CKE
【用途】
タイプＡ ： 収束ビーム IBF エッチング セパレータの上流用 タイプＢ ： ブロードビーム IBF エッチング 照射試験 -
【用途】
・イオンビームスパッタ ・高速クリーニング -
【用途】
・スパッタリング ・イオンビームアシスト -
マグネットセパレーター付コールドカソードイオン銃/OMI-0050MS
【用途】
・水素、プロトン各種実験 ・宇宙環境模擬実験 -
コールドカソード減速イオン銃/OMI-0750シリーズ オプションで中性ビーム
【用途】
・イオンビームスパッタ ・表面ソフトランディング（酸素等） ・低エネルギークリーニング ・絶縁物クリーニング ・燃料電池（窒素ドープ等） ・低速イオン散乱分光（He） -
超高真空高輝度コールドカソードイオン銃/OMI-0512CKE
【用途】
・精密イオンミリング（SEM、FIBシステム組込） ・超高真空イオンミリング -
コールドカソードイオン銃/ OMI-0012CKMLシリーズ
【用途】
●サンプルクリーニング ●照射試験 ●イオンビームスパッタ -
【用途】
●イオンビームスパッタ ●低損傷クリーニング等
