・エッチング

・プラズマ照射

ICF70マウントで使用できる小型ハイパワーのプラズマ源です。シンプルな設計のプラズマ源とプラズマの異常放電やパルス衝撃に強く出力バンドが広く工夫されたコントローラは、ユーザーによるメンテナンスのしやすさと、ハイコストパフォーマンスを実現しました。

ビームエネルギー：230eV~430eV
ビーム電流　　　：10mA以上
電流密度　　　　：2.25mA/cm2
＊上記計測条件：2×10ｍｍスリット　　WD＝50mm (250eV)
ビーム形状　　　：ブロードガウシアン
エミッション電流：最大400mA
使用真空度　　　：2.2E-2Pa~ 7.4E-1Pa程度　( TMP800L/s使用時）
使用ガス　　　　：アルゴン（窒素も可能、但しデータは変わります）
ガス導入口　　　：VCR1/4”メスナット
放電電極材質　　：Mo（標準仕様）
接続ケーブル　　：５ｍ
コントローラ仕様　OMI-0001PS
アノード電圧電流：可変（アナログ式）
メーター　　　　：電圧値、電流値（アナログ式）
サイズ　　　　　：１９インチラックサイズ
電源　　　　　　：AC１００V５A

オプション（別途見積）
スペア部品　　　：シールドプレート、絶縁ガイシ、マグネット等
放電電極材質　　：SUS、W、カーボン

別途準備品
各種ガス、バリアブルリークバルブ、真空計、ファラデーカップ等測定機器、真空チャンバー、TMP200L/s以上