減速マグネットセパレーター /OMS-2001MS
用途
表面科学や核融合、燃料電池、水素、カーボン関係の研究開発など、多種多様な実験に最適です。
概要
本システムは、減速機構を備え2000eVまでのイオンビームを質量選別可能な、マグネットセパレーターです。ビーム輸送系、高性能減速レンズシステムを備え、マグネットセパレーターのオリフィスを交換することで、分解能1amuの質量分離が可能です。
仕様
・イオン銃 :オプション
・ビームエネルギー :1eV~2000eV
・セパレータ方式 :セクターマグネット式
・選別可能質量 :1~40m/z
・使用可能ガス :水素、He、窒素、酸素、Ar
・出力イオン種 : H+, H2+, He+ O2+ ,O+ ,N2+ ,N+ ,Ar+ 等
(質量 m/z=1~40まで)
・分解能設定機構 :オリフィス交換式
・アライメント機構 :メカニカル式
・ビーム補正機構 :マルチポール電場型
・取付フランジ :ICF114
・到達圧力 :5.0x10-6Pa以下