●ビーム照射、分析用
●昇温脱離ガス分析
●イオンミーリング　絶縁物加工

コールドカソード方式のイオン銃に独自のニュートラライザーを搭載し、絶縁物の加工を可能としました。

５ｋVでイオンカレントも多いので、エッチングの時間を短縮します。

ラスタースキャン、差動排気等、多彩なオプションもライナップしておりますので、最適なバージョンをご提案させて頂きます。