・１０ｋVまでのイオンビームの質量選別

本システムは、最大１０ｋVのイオンビームを質量選別可能な、EXBセパレーターです。ビーム輸送系、高性能レンズシステムを備え、EXBセパレーターのオリフィスを交換することで、分解能1amuの質量分離が可能です。

表面科学や核融合、燃料電池、水素、カーボン関係の研究開発など、多種多様な実験に最適です。

仕様

・イオン銃　　　　　　：オプション

・ビームエネルギー　　：0.7ｋeV～1０.7ｋeV

・最大入射ビーム電流　：～300μA（水素ガスにて）

・適合ビーム径　　　　：φ1.5mｍ～φ1０ｍｍ

・セパレータ方式　　　：EXB式

・選別可能質量　　　　：１～５０M/Z

・使用可能ガス　　　　：水素、He、窒素、酸素、CO2、Ar

・出力イオン種　　　　： H+, H2+, He+ O2+ ,O+  ,N2+ ,N+ ,Ar+ ,Ar++，C+　等

・　　　　　　　　　　　　　　　（質量　M/e=1～50まで）

・分解能設定機構　　　：オリフィス交換式

・アライメント機構　　：メカニカル式、XY静電偏向式

・ビーム補正機構　　　：4極式

・取付フランジ　　　　：ICF１１４

・到達圧力　　　　　　：５．０ｘ１０－6Pa以下