表面科学や核融合、燃料電池、水素、カーボン関係の研究開発

本システムは、新開発のコールドカソードイオン銃、EXBセパレーター、ビーム輸送系、高性能レンズシステムを備え、最大１０ｋVの高電圧大電流の各種イオンビームを照射可能なシステムです。

イオン源部はレアメタルを採用し、優れたメンテナンス性、安定性を獲得しており、長時間に亘る実験に有効です。

Ar、He、水素はもちろん、窒素、酸素、 CO２ガスも放電することが可能です。

EXBセパレーターのオリフィスを交換することで、分解能1amuの質量分離が可能です。

多段に配置された収束レンズにより、高効率を可能とし、表面科学や核融合、燃料電池、水素、カーボン関係の研究開発など、多種多様な実験に最適です。

仕様

・イオン銃　　　　　　：コールドカソード式

・ビームエネルギー　　：0.7ｋeV～1０.7ｋeV

・最大ビーム電流　　　：５０μA以上（水素ガスにて）

・ビーム径　　　　　　：φ1.5mｍ～φ1０ｍｍ

・セパレータ　　　　　：EXB式

・選別可能質量　　　　：１～５０M/Z

・使用可能ガス　　　　：水素、He、窒素、酸素、CO2、Ar

・出力イオン種　　　　： H+, H2+, He+ O2+ ,O+  ,N2+ ,N+ ,Ar+ ,Ar++，C+　等

（質量　M/e=1～50まで）

・各種イオン出力　　　：H+    /1.9μA    H2+ /34μA    HD+ /0.8μA

・　（質量選別時）　    ：He+  /1.0μA

・　　　　　　　　　　：O++  /0.1μA    O2++ ,O+/3.0μA     O2+  /7.7μA

・　　　　　　　　　　：C+  /0.01μA    CO+/0.03μA    CO2+  /0.17μA

・分解能設定機構　　　：オリフィス交換式

・アライメント機構　　：メカニカル式、XY静電偏向式

・ビーム補正機構　　　：4極式

・取付フランジ　　　　：ICF１１４

・使用WD　　　　　　：5０mm～１５０mm（フランジ端面よりターゲットの距離）

・到達圧力　　　　　　：５．０ｘ１０－6Pa以下

・ベーク温度　　　　　：１２０℃（Oリング、マグネット部は除く）

オプション

・ガス導入系

・真空排気系

・真空チャンバー

・ビームプロファイルモニター

・ファラデーカップ