●IBF　絶縁物加工
●X線ミラー加工
●イオンミーリング

nmオーダーの超精密加工を可能とする、RF励起方式のイオン銃を新開発しリリースしました。

大電流のイオンビームを長時間安定的に照射可能ですので、X線ミラー等の加工時間を短縮します。独自のニュートラライザーをオプションで搭載可能とし、絶縁物の加工も可能です。

収束レンズ、ラスタースキャン、差動排気等、多彩なオプションもライナップしておりますので、最適なバージョンをご提案させて頂きます。

IBF(Ion Beam Figuring)はもちろん、細く収束制御されたビームは高効率での差動排気を可能とし高真空IBSイオンビームスパッタ成膜にも対応可能です。

高速ビーム偏向による合金ライクスパッタへの応用は、高価なスパッタターゲットの使用を抑え、新素材デバイス開発を低コストで実現可能です。