・イオン銃のガス導入部

・バリアブルリークバルブの自動制御

〇バリアブルリークバルブ動作のイオン銃のガス導入口圧を安定化し、プラズマの安定放電を実現します。２つの設定値をプリセットできるので、再現性が高く便利です。

〇別途配管等を用い、弊社イオン銃に最適なシステムを構築できます。

〇イオン銃以外にもバリアブルリークバルブの自動制御装置としてご使用いただけます。

・真空度計測法　　　：ピラニー式

・計測範囲　　　　　：0.1Pa～1.0×10⁵Pa

・制御方式　　　　　：ＰＩＤ

・駆動方式　　　　　：電動

・対応バルブ　　　　：ＶＡＴ社製シリーズ５９（別途準備ください）

＊写真のバルブ、配管は別途見積

・ガス流量調節範囲　：1×10^-11Pam³s^-1to10Pam³s^-1

・閉時間　　　　　　：3.5_S

コントローラー仕様

設定値モニタ　　　　　：OPEN=1000～CLOSE=0000

ポジション分解能　　　：100,000

バルブ制御ボタン　　　：OPEN/CLOSE

設定値プリセット　　　：アナログダイヤル2つで設定

コントローラ電源　　　：AC100V-２A

サイズ　　　　　　　　：１９インチ