マグネットセパレーター付コールドカソードイオン銃/OMI-0050MS
用途
・水素、プロトン各種実験
・宇宙環境模擬実験
概要
シンプルで信頼性の高いコールドカソードイオン銃に、高精度静電収束レンズを2段搭載しマグネットセパレーターを効率良く通します。さらに2段の静電レンズにより(計4段)、ロングワーキングディスタンスにてもビームの広がりを抑えた照射を可能としています。
放電電極に対スパッタ性の高いレアメタルを採用し、フィラメントのない構造は長時間安定して運転可能です。また中性を抑えた構造でプロトンを用いた精密な基礎研究用途で使えます。
仕様
イオン化方式 :コールドカソード型(クローズドループ電磁石)
セパレート方式 :セクター型マグネットセパレーター
: (クローズドループ式、中性粒子カット機構)
: M/e=4まで対応(5keVの時)
: M/e=20まで対応(1keVの時)
ビームエネルギー : 700eV~5.7keV
ビーム電流 :1.48μA、H+ 5keV
: 4.6μA、H2+ 5keV
ビーム径 :φ6.3mm~φ10mm/WD=120mm
動作圧力 :2.7×10-4Pa
差動排気 :1段ICF70(TMP50L/S 1台別途)
出力可能イオン種 :水素、 He等
ワーキングディスタンス:イオン銃前面から10mm~200mm
取付フランジ :ICF70(ステー別途要)
ベーキング温度 :180℃(マグネット除く)