・精密イオンミリング（SEM、FIBシステム組込）

・超高真空イオンミリング

シンプルで信頼性の高いコールドカソードイオン銃に、高精度静電収束レンズを3段搭載し高輝度イオンビームをスキャンして均一に照射できるモデルです。

放電電極に対スパッタ性の高いレアメタルを採用し、Ar、He等の不活性ガスはもちろん、水素、酸素、窒素、 メタン、ブタン等のガスをイオンビームにし、フィラメントのない構造は長時間運転に適しています。

差動排気を2段備えTMPを接続することで、メインチャンバー圧で2.6×１０－６Paの運転を可能としております。（ノンベークにて）

外部コントロールも備えていますので、サンプル等の精密エッチングとSEMやFIB組み合わせたシステムに最適です。

ビーム径φ70μmバージョンを別途お選び頂けます（関連ファイル１、２にナイフエッジデータがあります）

イオン銃部

イオン化方式　　　　：コールドカソード型（クローズドループ電磁石）

ビームエネルギー　　： 500eV～5ｋeV

ビーム電流　　　　　：0.5μA～11μA

ビーム径（半値幅）　：φ0.2ｍｍ〜φ１ｍｍ/WD=25mm

最大電流密度　　　　：20mA/cm2/WD=25mm

最低動作圧力　　　　：2.7×10－６Pa（ ベース圧　2.6×10－６Pa ノンベーク）

スキャン機能　　　　：X-Y静電偏向式　１ｋHz（オプションで10ｋHz）

（ファンクションジェネレーター別途）

差動排気　　　　　　：2段ICF70（TMP５０L/S　2台別途）

出力可能イオン種　　：Ar、He、酸素、水素、窒素、その他

ワーキングディスタンス：イオン銃前面から10mｍ～200mｍ

取付フランジ　　　　：ICF114（オプションでICF70）

ベーキング温度　　　：180℃（マグネット除く）

ビーム電流モニタ　　：ファラデーカップ内蔵