ICF70ファラデーカップ / OMD-0070FC
用途
●ビーム電流値の評価・計測
●ビーム出力の検知
概要
この製品はICF70フランジに口径φ6mmのファラデーカップを取り付けたものです。
大気側のフィードスルーにはMHVコネクタを採用しております。
ICF70の空きポートがあればボルトオンで簡単に取り付けることができるので、イオンビームや電子ビームの電流値を気軽に計測することができます。
また弊社製品のUSBファラデーモニターを併用すればパソコンで電流値を計測することが出来ます。
仕様
ファラデーカップ口径 | 口径φ6mm (オプションにて変更可) |
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ファラデーカップ外径 | φ15mm |
最大計測電流値 | 100μA |
取り付けフランジ | ICF70 |
ベーキング温度 | 180℃ |
※お客様の仕様によりファラデーカップ口径等、変更できますので御連絡ください。