製品情報product information

ICF70ファラデーカップ / OMD-0070FC

用途

●ビーム電流値の評価・計測
●ビーム出力の検知

概要

この製品はICF70フランジに口径φ6mmのファラデーカップを取り付けたものです。

大気側のフィードスルーにはMHVコネクタを採用しております。

ICF70の空きポートがあればボルトオンで簡単に取り付けることができるので、イオンビームや電子ビームの電流値を気軽に計測することができます。

また弊社製品のUSBファラデーモニターを併用すればパソコンで電流値を計測することが出来ます。

仕様

ファラデーカップ口径 口径φ6mm (オプションにて変更可)
ファラデーカップ外径 φ15mm
最大計測電流値 100μA
取り付けフランジ ICF70
ベーキング温度 180℃

※お客様の仕様によりファラデーカップ口径等、変更できますので御連絡ください。

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