●電子ビーム、イオンビームカレントの計測

イオンビーム・電子ビームの全電流計測用、開口径φ２０ｍｍのファラデーカップ計測システムです。

電流計測抵抗を切り替えることにより、0.01μA（最小感度）から10.000mAまで計測することができます。

材質　　　　　　　　：SUS、アルミ、銅、アルミナ

開口径　　　　　　　：φ２０ｍｍ

最大入熱　　　　　　：120W（φ２０ｍｍに平均入射として）

取付フランジ　　　　：ICF７０

真空側サイズ　　　　：φ３４ｍｍ×１１０ｍｍ

計測回路ボックス仕様

・計測抵抗100kΩのとき、0μA～±100.00μA

・計測抵抗1kΩのとき、0mA～±10.000mA

・モニタ出力±１０V（2系統、表示器別途）

・入力５V（ACアダプタ付属）