4軸マニュピレータ / OMM-0104
用途
●実験用
概要
本マニュピレータは4軸タイプのローコスト版でz軸ストロークも100mmと十分なストロークを確保しておりますので汎用品としてお役に立つかと存じます。
また、取付けフランジはICF152を採用しておりますのでミニコンが最大5個まで増設可能ですのでオプションにて特注賜ります。
仕様
軸数 | 4軸 |
---|---|
Z軸 | 50mm 精度 ±0.1mm |
X軸 | ±10mm 精度 ±0.05mm |
Y軸 | ±10mm 精度 ±0.05mm |
θ軸 | マグネット式回転導入機 バッククラッシュなし |
取付けフランジ | ICF152 |
導入ポート数 | ICF34×2ケ、6Pソケット 1ケ |
使用真空度 | 1×10-10Torr |