ファラデーモニターシステム / OMS-0010FC(300st)
用途
●ビームカレントモニター
概要
本モニターシステムはファラデーカップ内径Φ6mmで有効ストローク300mm有ります。
グリット電圧VG=~-180V連続可変できますので、ファラデーカップに入射した荷電粒子により発生する二次電子の外部放出を阻止し、正確なビームカレントを計測可能です。
仕様
ファラデーカップ | Φ6×8mm |
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グリット電圧 | 0~-180V |
計測範囲 | 1~100nA、1~100μA、切替式 |
有効ストローク | 300mm |
取り付けフランジ | ICF70mm |