製品情報product information

ビームプロファイルモニター / OMS-0400PM

用途

●イオン・電子ビーム径、全電流測定

概要

150stの1軸マニピュレータにワイヤーロープとファラデーカップを備えた電子及びイオンビームプロファイルシステムです。

軸を動かし、その時の位置と電流値をコンピュータ上で処理し2次元プロファイルとしてモニタに出力させます。最少計測分解能は0.5mmとなっており、1回のデータ取得は約1分以内に完了いたします。

仕様

ファラデーカップ 口径φ50mm (オプションにて変更可)
 計測電流範囲 0.001μA~100mA
  A/Dコンバータ 分解能 16bit
計測方式 タングステンワイヤースキャン
 制御軸 1軸(パルスモーター駆動)
 ストローク 150mm
 駆動軸シール方式 Oリング(真空グリース塗布)
 接続フランジ ICF152
 取付方向 全方位方向(上下左右)

計測制御ソフトウェアLabview

主な機能
○2Dプロファイル計測
○ビーム半値幅計測
○全電流計測
○データロガー機能
○エクセルデータ出力

電源仕様など

コントローラ電源 AC100V-3A
コントローラーサイズ 19インチJISサイズ
ケーブル長 5m
パソコン WindowsPC(別途ご用意)

※パソコンとモニタは標準装備ですが仕様により機種などの変更があります。

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