エネルギーセパレータ付減速イオン銃（スイープ機能付） / OMB-0750CKD-SW
用途
●ラザフォード後方散乱
概要
本システムは、高出力コールドカソードイオン銃の出口に電界型エネルギーセパレータを搭載し、減速レンズシステムに入射するイオンビームの加速エネルギーを揃えたため、確率の高い低速イオンエネルギーを照射可能です。
減速後のイオンエネルギーが
２００ｅＶ にて７μＡ／ＷＤ＝３０ｍｍ（Ａｒ）
５００ｅＶ にて １０μＡ／ＷＤ＝３０ｍｍ
以上のような高出力が可能です
また、Ｘ－Ｙスイープ機能も備えておりますので±１５ｍｍ程度のスイープも可能です。
オプションにてターボポンプにて差動排気を実施すればメーンチャンバーの真空度の低下を最小限に押さえることも可能です。
仕様
| イオン源 | ５kｅＶ コールドカソードイオン銃 |
|---|---|
| エネルギーセパレータ | 静電偏向型エネルギーセパレータ |
| 減速レンズ | ３段減速式アインツェルレンズ |
| Ｘ－Ｙスイープ方式 | 静電偏向式 |
| 加速電圧 ＶＡ | ～５kｅＶ |
| 最大イオンカレント（全電流） | Ｉｓ：～３０μＡ／ＶＡ＝５kｅＶ |
| 減速イオンエネルギー （Ａｒガス） | ～２００ｅＶ |
| 減速イオンカレント （Ａｒガス） | ５μＡ／２００ｅＶ以上 ＷＤ＝３０ｍｍ |
| スイープ範囲 （ＷＤ＝３０ｍｍ） | ±１５ｍｍ／ＶＡ＝３００ｅＶにて |
| 使用イオンガス種 | Ａｒ，Ｎ２，Ｈ２、Ｎｅ，Ｘｅ，その他不活性ガス |
| 差動排気ポート | ＩＣＦ１５２（ターボポンプはオプションです） |
| 所要ターボポンプ排気速度 | ２００Ｌ／Ｓ以上 |
| イオン銃動作時メーンチャンバー真空度 | ５００ｅＶ/５μＡ出力時１０-7Ｔｏｒｒ程度 |
| 取り付けフランジ | ＩＣＦ１１４ |
