●表面分析
●O₂+イオンソフトランディング(ニュートラルビーム)
●O₂+イオン照射可能

本ビーム照射システムは弊社の“減速型低速中性ビーム銃”ＯＭＢ－０４１０ＮＢと高性能電子銃の“５kｅＶマイクロスポット電子銃”ＯＭＥ－００５０μＳ“を搭載したロードロックチャンバーを備えたビーム照射試験装置です。

イオン銃にはニュートラライザーと減速レンズシステムを備えておりますので低速１０ｅＶ～１５００ｅＶの広範囲にてイオンビームの照射が可能です。１０～１００ｅＶまでであればニュートラルビームも照射可能です。

また、ロードロックチャンバーのワーク挿入機構はリーズナブルなオーリングシール式を採用いたしましたので非常にローコストに仕上がっております。

サンプルステージは弊社の“４軸マニュピレータ”ＯＭＭ－０１０４“を搭載したすべてオメガトロンの標準品を採用したシステムになっております。

他にも色々な種類の製品がございますので弊社のカタログより選定いただければバージョンアップが可能です。