低速高出力電子銃 / OME-0202PE
用途
●イオン化用
●蒸着アシスト用
概要
本電子銃は、300ｅＶという低速加速電圧にても1ｍＡちかい大電流を発生可能な低速大電流電子銃です。
ニュートラライザーやイオン化等の用途に最適です。
仕様
| 電子ビームエネルギー | ～300ｅＶ |
|---|---|
| 電子ビームカレント(最大) | 900μA／ＶＡ＝300ｅＶ／ＷＤ＝100ｍｍ |
| ビーム径 | φ30ｍｍ～／ＷＤ＝100ｍｍ |
| 加速電圧 | ＶＡ＝0～300ｅV |
| 動作圧力 | 1×10Ｅ－3Ｐa以下 |
| ワークディスタンス | WD=100ｍｍ |
| ベーク温度 | 200℃ |
