製品情報product information

5keVマイクロスポット電子銃 / OME-0050μS

用途

●表面分析
●オージェ(光電子分光)

概要

本電子銃は、フィラメントに極細線の特殊エミッターを採用いたしましたので 5kVという比較的低速の加速電圧でも半値幅φ50μm、フレア径φ170μm という小スポット径の電子ビームが発生可能です。

また、収束レンズに2段アインツェルレンズを採用いたしましたのでビームの平行度も良くなっております。

仕様

電子ビームエネルギー 1keV~5keV 連続可変
電子ビームカレント 17nA/5keV/WD=100mm
電子ビーム径 φ50μm/WD=100mm/VA=5kV
加速電圧 VA=0~5kV
収束レンズ電圧 VL1,VL2=0~5kV
動作圧力 1×10-4Pa以下
ワークディスタンス WD=100mm
取り付けフランジサイズ ICF70

 

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