5keVマイクロスポット電子銃 / OME-0050μS
用途
●表面分析
●オージェ(光電子分光)
概要
本電子銃は、フィラメントに極細線の特殊エミッターを採用いたしましたので 5kVという比較的低速の加速電圧でも半値幅φ50μm、フレア径φ170μm という小スポット径の電子ビームが発生可能です。
また、収束レンズに2段アインツェルレンズを採用いたしましたのでビームの平行度も良くなっております。
仕様
電子ビームエネルギー | 1keV~5keV 連続可変 |
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電子ビームカレント | 17nA/5keV/WD=100mm |
電子ビーム径 | φ50μm/WD=100mm/VA=5kV |
加速電圧 | VA=0~5kV |
収束レンズ電圧 | VL1,VL2=0~5kV |
動作圧力 | 1×10-4Pa以下 |
ワークディスタンス | WD=100mm |
取り付けフランジサイズ | ICF70 |