高輝度へリウムイオン銃(コールドカソード型) / OMI-0045CKH
用途
●Heイオン、H+イオン照射
●小スポット等
概要
本イオン銃はディスチャージ電極に特殊電極を採用しましたので高出力時でも長寿命にする事が可能になりました。
また、フィラメント等の反応し易い消耗部品が有りませんので酸素イオン等の出力も可能です。
ディスチャージ方式に高密度磁界と反射式振動電界を併用いたしましたので非常に高密度のイオンビーム出力が可能となっております。
サンプル表面のクリーニング、表面のミーリング、そしてスパッター等の用途に最適です。Ａｒですと１００時間以上の連続運転が可能となっております。
5kevで1mA/cm2程度のヘリウムイオンビームを出力した時のビームサイズはφ０．７ｍｍ／フレア径φ２ｍｍという比較的小さい高精度のビームプロファイルが得られます。小面積のサンプルに照射するのに最適です。
仕様
| ディスチャージ方式 | コールドカソード型（ＰＩＧ）冷陰極放電型 |
|---|---|
| 加速電圧 | ７００ｅＶ～５．７kｅＶ 連続可変 |
| 収束レンズ | アインッエルレンズ |
| ディスチャージマグネット | クローズドループ型 |
| ターゲットカレント | ＶＡ：１kｅＶ／ＷＤ＝１００ｍｍ／にて９μＡ |
| ガス種：へリウム | ＶＡ：５kｅＶ／ＷＤ＝１００ｍｍ／にて１７μＡ |
| ビーム径 | φ０．７ｍｍ～φ２００ｍｍ／ＷＤ＝１００ｍｍ |
| 使用可能ガス種 | Ｈｅ，Ｈ2，Ａｒ，Ｏ2，Ｎ2その他不活性ガス |
| 使用真空度（動作真空度） | ５×１０Ｅ-4Ｐａ～１×１０Ｅ－３Ｐａ |
| 取り付けフランジ | ＩＣＦ７０ |
| 推奨ワークデスタンス | ＷＤ＝１００ｍｍ～１５０ｍｍ（イオン銃先端より） |
| ガス導入フランジ | ＩＣＦ34 |
| べーク可能温度 | ～200℃（マグネットを引き抜いた時） |
| ディスチャージ電極寿命 | １０μＡ出力時１００時間以上（条件により変動有り） |
| （Ａｒガス使用時） | Ｈｅガス使用時寿命Ａｒより延びます。 |
